光刻機是什麼 什麼是光刻機

簡要回答

光刻機又被稱之為掩模對準曝光機曝光系統，光刻系統等等。它是由製造芯片的核心裝置之一，光刻機採用類似照片，沖印的技術，把眼模板上的精細圖形，通過光線的曝光印製到硅片上。目前光刻機又分為接觸式曝光，接近式曝光和投影式曝光。

光刻機的工作原理
通常光刻機是通過一系列的光源，能量，形狀，控制手段，將光束透射過，畫着線路圖的眼膜，經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小以後映射到硅片上，然後再使用化學方式顯影得到刻在硅片上的電路圖。

使用光刻工藝的注意事項
一般在使用光刻工藝時要經歷硅片，表面清洗，烘乾，塗底，旋塗，光刻膠對準曝光顯影激光刻軸等等工藝。另外光刻機的製造和維護需要使用到高度的光學以及電子基礎，所以光刻機在世界上只有很少一部分商家能夠掌握相關的細節。

光刻機的用途
光刻機其實可以用於生產芯片，也可以用於封裝，當然光刻機可以運用在LED製造領域。一般使用光刻機的時候，用於生產芯片的光刻機是中國在半導體設備製造上的短板。